本文聚焦细美事有限公司的专利动态,介绍了其在2024年7月申请的“基板处理设备及其制造方法”专利相关信息,包括专利公开号及专利摘要内容。
据金融界2025年3月29日消息,从国家知识产权局披露的信息中我们了解到,细美事有限公司有一项备受关注的专利申请。该专利名为“基板处理设备及其制造方法”,其公开号为CN 119694928 A,而申请日期可以追溯到2024年7月。
从专利摘要来看,这项专利主要是提供一种基板处理设备。本发明所涉及的基板处理设备包含了支撑单元,该支撑单元被设置在处理空间之中,其主要功能是处理基板并且对基板起到支撑作用。进一步来看,这个支撑单元又包含了定位盘和块体这两个部分。其中,定位盘具有第一热导率,在定位盘上还形成有凹槽;而块体则被设置在凹槽里面,并且具有不同于第一热导率的第二热导率。
细美事有限公司在2024年7月申请的“基板处理设备及其制造方法”专利相关情况,包括专利公开号和专利摘要中关于基板处理设备的构成等内容,让我们对该公司的这项专利有了初步认识。
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